Effizienzsteigerung der Abgasreinigung von Prozessgasen in der Chipindustrie mittels einer neuartigen Plasma-Barriereentladung

Aktenzeichen 32701/01
Abschlussbericht:
Projektträger: Diener electronic GmbH & Co. KG
Nagolder Str. 61
72224 Ebhausen
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Telefon: +49 7458 99931-533
Internet: -
Bundesland: Baden-Württemberg
Förderzeitraum: 10.12.2015 - 10.03.2017 (1 Jahr und 3 Monate)
Fördersumme: 118.000,00
Förderbereich: I.1.2
Stichworte: Abgas
Publikationen: